水野 潤

上級研究員(研究院教授)

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19952019
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研究成果 1995 2019

フィルター
Review article
2017

Fabrication of bridged glass nanopillar structure with high scratch resistance

Kuwae, H., Sudo, T., Okada, A., Takayama, K., Shoji, S. & Mizuno, J., 2017, : : IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 137, 3, p. 72-77 6 p.

研究成果: Review article

Fabrication
Glass
Photolithography
Cleaning
Friction