横島 時彦

上級研究員(研究院教授)

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19992019

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研究成果

フィルター
Paper
2004

Formation of diffusion barrier layer on low-k material using wet fabrication process

Yoshino, M., Yokoshima, T., Osaka, T., Hashimoto, A., Hagiwara, Y. & Sato, I., 2004 12 1, p. 251-263. 13 p.

研究成果: Paper

2003
1 引用 (Scopus)