3D integration of heterogeneous MEMS structures by stamping transfer

Hiroaki Onoe*, Eiji Iwase, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

8 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「3D integration of heterogeneous MEMS structures by stamping transfer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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