抄録
A high creep-immunity MEMS actuator is proposed for RF-MEMS tunable capacitor. The creep-immunity is attained using silicon nitride, SiN, for the spring portions, where the stress is concentrated. Compared with an aluminum spring, the creep-induced deformation is reduced by a factor of 23 at 100 °C. We also confirmed by a billion cycle test that the SiN spring does not develop a brittle fracture.
本文言語 | English |
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ページ(範囲) | 373-377 |
ページ数 | 5 |
ジャーナル | Sensors and Actuators, A: Physical |
巻 | 169 |
号 | 2 |
DOI | |
出版ステータス | Published - 2011 10月 |
外部発表 | はい |
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