A creep-immune electrostatic actuator for RF-MEMS tunable capacitor

Etsuji Ogawa*, Tamio Ikehashi, Tomohiro Saito, Hiroaki Yamazaki, Kei Masunishi, Yasushi Tomizawa, Tatsuya Ohguro, Yoshiaki Sugizaki, Yoshiaki Toyoshima, Hideki Shibata

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抄録

A high creep-immunity MEMS actuator is proposed for RF-MEMS tunable capacitor. The creep-immunity is attained using silicon nitride, SiN, for the spring portions, where the stress is concentrated. Compared with an aluminum spring, the creep-induced deformation is reduced by a factor of 23 at 100 °C. We also confirmed by a billion cycle test that the SiN spring does not develop a brittle fracture.

本文言語English
ページ(範囲)373-377
ページ数5
ジャーナルSensors and Actuators, A: Physical
169
2
DOI
出版ステータスPublished - 2011 10
外部発表はい

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「A creep-immune electrostatic actuator for RF-MEMS tunable capacitor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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