A creep-immune electrostatic actuator for RF-MEMS tunable capacitor
Etsuji Ogawa*, Tamio Ikehashi, Tomohiro Saito, Hiroaki Yamazaki, Kei Masunishi, Yasushi Tomizawa, Tatsuya Ohguro, Yoshiaki Sugizaki, Yoshiaki Toyoshima, Hideki Shibata
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