A high power-handling RF MEMS tunable capacitor using quadruple series capacitor structure

Hiroaki Yamazaki*, Tamio Ikehashi, Tomohiro Saito, Etsuji Ogawa, Takayuki Masunaga, Tatsuya Ohguro, Yoshiaki Sugizaki, Hideki Shibata

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研究成果: Conference contribution

19 被引用数 (Scopus)

抄録

This paper presents an RF MEMS tunable capacitor that achieves an excellent power-handling property with relatively low actuation voltage. The tunable capacitor consists of two fixed MIM (Metal-Insulator-Metal) capacitors and two MEMS capacitor elements, all connected in series. This quadruple series capacitor (QSC) structure enables reduction of the actuation voltage without sacrificing the power-handling capability, since the MIM capacitor reduces the RF voltage amplitude applied to the MEMS capacitors. The measured result demonstrates +36dBm hot-switching at 85°C with 21V pull-in voltage.

本文言語English
ホスト出版物のタイトル2010 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, MTT 2010
ページ1138-1141
ページ数4
DOI
出版ステータスPublished - 2010 10月 15
外部発表はい
イベント2010 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, MTT 2010 - Anaheim, CA, United States
継続期間: 2010 5月 232010 5月 28

出版物シリーズ

名前IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest
ISSN(印刷版)0149-645X

Conference

Conference2010 IEEE MTT-S International Microwave Symposium, MTT 2010
国/地域United States
CityAnaheim, CA
Period10/5/2310/5/28

ASJC Scopus subject areas

  • 放射線
  • 凝縮系物理学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「A high power-handling RF MEMS tunable capacitor using quadruple series capacitor structure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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