A kinetic study of the chemical vapor deposition of silicon carbide from dichlorodimethylsilane precursors

T. Takeuchi, Y. Egashira, Toshio Ohsawa, H. Komiyama

研究成果: Article査読

19 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「A kinetic study of the chemical vapor deposition of silicon carbide from dichlorodimethylsilane precursors」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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