A long-term reliability analysis of a creep-immune RF-MEMS tunable capacitor

Etsuji Ogawa*, Kei Masunishi, Tamio Ikehashi, Tomohiro Saito, Hiroaki Yamazaki, Yasushi Tomizawa, Yoshiaki Sugizaki

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「A long-term reliability analysis of a creep-immune RF-MEMS tunable capacitor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science