A new kinetic equation for thermal oxidation of silicon replacing the deal-grove equation

Takanobu Watanabe*, Iwao Ohdomari

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

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フィンガープリント

「A new kinetic equation for thermal oxidation of silicon replacing the deal-grove equation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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