A reliability of silicon-crystalline quartz bonding through reducing of the residual stresses

Yury Zimin*, Toshitsugu Ueda

*この研究の対応する著者

    研究成果: Conference contribution

    フィンガープリント

    「A reliability of silicon-crystalline quartz bonding through reducing of the residual stresses」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science