A robust RF MEMS variable capacitor with piezoelectric and electrostatic actuation

T. Ikehashi*, T. Ohguro, E. Ogawa, H. Yamazaki, K. Kojima, M. Matsuo, K. Ishimaru, H. Ishiuchi

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抄録

An RF MEMS variable capacitor using hybrid actuation of piezoelectric and electrostatic forces is presented. A surface micromachining process is used to fabricate the device. The piezoelectric actuator, which uses thin film PZT, enables low voltage actuation while the electrostatic actuator realizes large capacitance ratio. The measured capacitance ratio is Cmax/Cmin=14 at 5V. We demonstrate that the hybrid actuation enables to lower the pull-in voltage without changing the pull-out voltage. We also show that the shift of pull-out voltage due to dielectric charging can be reduced drastically at actuation voltages below 10V. In this sense, the hybrid actuation can realize low voltage operation with enhanced robustness for stiction.

本文言語English
論文番号4014812
ページ(範囲)39-42
ページ数4
ジャーナルIEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest
DOI
出版ステータスPublished - 2006 12月 1
外部発表はい
イベント2006 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest - San Francisco, CA, United States
継続期間: 2006 6月 112006 6月 16

ASJC Scopus subject areas

  • 放射線
  • 凝縮系物理学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「A robust RF MEMS variable capacitor with piezoelectric and electrostatic actuation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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