A simple lithographic method employing 172 nm vacuum ultraviolet light to prepare positive- and negative-tone poly(methyl methacrylate) patterns

S. Asakura*, A. Hozumi, T. Yamaguchi, A. Fuwa

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フィンガープリント

「A simple lithographic method employing 172 nm vacuum ultraviolet light to prepare positive- and negative-tone poly(methyl methacrylate) patterns」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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