An elastomer-based MEMS fabry-perot interferometer for physical and biological sensing by dry transfer technique

Kazuhiro Takahashi, Toshinori Fujie, Nobutaka Sato, Shinji Takeoka, Kazuaki Sawada

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「An elastomer-based MEMS fabry-perot interferometer for physical and biological sensing by dry transfer technique」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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