An electrochemical investigation of additive effect in trench-filling of ULSI interconnects by electroless copper deposition

Madoka Hasegawa*, Noriyuki Yamachika, Yutaka Okinaka, Yosi Shacham-Diamand, Tetsuya Osaka

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フィンガープリント

「An electrochemical investigation of additive effect in trench-filling of ULSI interconnects by electroless copper deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds