An intelligent bipolar actuation method with high stiction immunity for RF MEMS capacitive switches and variable capacitors

Hiroaki Yamazaki*, Tamio Ikehashi, Tatsuya Ohguro, Etsuji Ogawa, Kenji Kojima, Kazunari Ishimaru, Hidemi Ishiuchi

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抄録

We propose an intelligent bipolar actuation (IBA) method for electrostatic actuators, which can suppress stiction induced by dielectric charging. The high stiction immunity is achieved by flipping the bias voltage polarity depending on the pull-out voltage, thereby restricting the amount of charge stored in the dielectric film.

本文言語English
ページ(範囲)233-236
ページ数4
ジャーナルSensors and Actuators, A: Physical
139
1-2 SPEC. ISS.
DOI
出版ステータスPublished - 2007 9 12
外部発表はい

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フィンガープリント

「An intelligent bipolar actuation method with high stiction immunity for RF MEMS capacitive switches and variable capacitors」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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