An RF-MEMS tunable capacitor using quadruple series capacitor structure and brittle material springs

Hiroaki Yamazaki, Tamio Ikehashi, Tomohiro Saito, Etsuji Ogawa, Takayuki Masunaga, Kei Masunishi, Yasushi Tomizawa, Tatsuya Ohguro, Yoshiaki Sugizaki, Hideki Shibata

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「An RF-MEMS tunable capacitor using quadruple series capacitor structure and brittle material springs」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds