An RF MEMS variable capacitor with intelligent bipolar actuation

Tamio Ikehashi, Takayuki Miyazaki, Hiroaki Yamazaki, Atsushi Suzuki, Etsuji Ogawa, Shinji Miyano, Tomohiro Saito, Tatsuya Ohgura, Takeshi Miyagi, Yoshiaki Sugizaki, Nobuaki Otsuka, Hideki Shibata, Yoshiaki Toyoshima*

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

22 被引用数 (Scopus)

抄録

An RF MEMS variable capacitor module with intelligent bipolar actuation (IBA) is implemented in a driver IC to prevent stiction in electrostatic actuators. The IBA eliminates the dielectric charging of the electrostatic actuator by detecting the charge trapped in the dielectric film and reversing the electric field orientation if it exceeds a set threshold. No failure is observed up to 108 cycles at 85°C.

本文言語English
ホスト出版物のタイトル2008 IEEE International Solid State Circuits Conference - Digest of Technical Papers, ISSCC
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ページ582-584
ページ数3
ISBN(印刷版)9781424420100
DOI
出版ステータスPublished - 2008
外部発表はい
イベント2008 IEEE International Solid State Circuits Conference, ISSCC - San Francisco, CA, United States
継続期間: 2008 2 32008 2 7

出版物シリーズ

名前Digest of Technical Papers - IEEE International Solid-State Circuits Conference
51
ISSN(印刷版)0193-6530

Conference

Conference2008 IEEE International Solid State Circuits Conference, ISSCC
国/地域United States
CitySan Francisco, CA
Period08/2/308/2/7

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「An RF MEMS variable capacitor with intelligent bipolar actuation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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