Angular distribution of Si atoms sputtered by keV Ar+ ions

T. Okutani*, M. Shikata, S. Ichimura, R. Shimizu

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フィンガープリント

「Angular distribution of Si atoms sputtered by keV Ar<sup>+</sup> ions」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy