Anomalous flatband voltage shift of AlFxOy/Al2O3 MOS capacitors: A consideration on dipole layer formation at dielectric interfaces with different anions

Jiayang Fei, Ryota Kunugi, Takanobu Watanabe, Koji Kita

研究成果: Article査読

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Anomalous flatband voltage shift of AlF<sub>x</sub>O<sub>y</sub>/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> MOS capacitors: A consideration on dipole layer formation at dielectric interfaces with different anions」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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