Application of nitrogen implantation to ULSI

Takashi Murakami*, Takashi Kuroi, Yoji Kawasaki, Masahide Inuishi, Yasuji Matsui, Akihiko Yasuoka

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フィンガープリント

「Application of nitrogen implantation to ULSI」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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