Area-selective formation of macropore array by anisotropic electrochemical etching on an n-Si(100) surface in aqueous HF solution

Takayuki Homma, Hirotaka Sato, Kentaro Mori, Tetsuya Osaka, Shuichi Shoji

研究成果: Article査読

11 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Area-selective formation of macropore array by anisotropic electrochemical etching on an n-Si(100) surface in aqueous HF solution」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy