Atom probe tomographic assessment of the distribution of germanium atoms implanted in a silicon matrix through nano-apertures

Y. Tu, B. Han, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Fukui, M. Yano, T. Tanii, T. Shinada, Y. Nagai

研究成果: Article査読

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Atom probe tomographic assessment of the distribution of germanium atoms implanted in a silicon matrix through nano-apertures」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds