Backscattering correction for quantitative Auger analysis III. A simple functional representation of electron backscattering factors

S. Ichimura*, R. Shimizu, J. P. Langeron

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抄録

Backscattering factors for quantitative Auger analysis which were obtained by Monte Carlo calculations were analytically represented by using simple functions. This should enable the backscattering correction procedure in quantitative Auger analysis to be of more practical use.

本文言語English
ページ(範囲)L49-L54
ジャーナルSurface Science
124
2-3
DOI
出版ステータスPublished - 1983 1 2
外部発表はい

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  • 凝縮系物理学
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  • 表面、皮膜および薄膜
  • 材料化学

フィンガープリント

「Backscattering correction for quantitative Auger analysis III. A simple functional representation of electron backscattering factors」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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