Beryllium implantation doping of silicon carbide

T. Henkel*, Y. Tanaka, Naoto Kobayashi, S. Nishizawa, S. Hishita

*この研究の対応する著者

研究成果: Chapter

フィンガープリント

「Beryllium implantation doping of silicon carbide」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds