Buried piezoresistive sensors by means of MeV ion implantation

T. Nishimoto*, S. Shoji, M. Esashi

*この研究の対応する著者

研究成果査読

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フィンガープリント

「Buried piezoresistive sensors by means of MeV ion implantation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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