C-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device

Takumi Tominaga, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani

研究成果: Conference article査読

フィンガープリント

「C-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy