Change in structure and TFT performances of IZO, IGO and IGZO films by crystallization

Ayaka Suko, Junjun Jia, Shinichi Nakamura, Yuzo Shigesato

研究成果: Conference contribution

抄録

How the a-IGZO films crystallize and how the crystallinity affects the electrical properties, hence the TFT performances, have been investigated in detail. a-IGZO thin films were post-annealed in air at 300-1000 °C for 1h. HREM analyses revealed the crystallization behavior in detail. For the comparative purpose the crystallization behaviors of a-IGO and a-IZO films are also investigated.

本文言語English
ホスト出版物のタイトル22nd International Display Workshops, IDW 2015
出版社International Display Workshops
ページ12-13
ページ数2
ISBN(電子版)9781510845503
出版ステータスPublished - 2015 1 1
外部発表はい
イベント22nd International Display Workshops, IDW 2015 - Otsu, Japan
継続期間: 2015 12 92015 12 11

出版物シリーズ

名前Proceedings of the International Display Workshops
1
ISSN(印刷版)1883-2490

Conference

Conference22nd International Display Workshops, IDW 2015
国/地域Japan
CityOtsu
Period15/12/915/12/11

ASJC Scopus subject areas

  • コンピュータ ビジョンおよびパターン認識
  • 人間とコンピュータの相互作用
  • 電子工学および電気工学
  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 放射線学、核医学およびイメージング

フィンガープリント

「Change in structure and TFT performances of IZO, IGO and IGZO films by crystallization」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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