Characteristics of molybdenum thin-film plate oscillators fabricated by minimum deformation micromachining

Kenji Miyazaki, Noriyoshi Yamauchi, Tomoko Hisaki, Ryouichi Takahashi, Kiyoshi Itao

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)53-54
ページ数2
ジャーナルInternational Journal of the Japan Society for Precision Engineering
31
1
出版ステータスPublished - 1997 3 1
外部発表はい

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