Characterization of a quartz MEMS tilt sensor with 0.001° precision

Jinxing Liang*, Fusao Kohsaka, Xuefeng Li, Ken Kunitomo, Toshitsugu Ueda

*この研究の対応する著者

    研究成果: Conference contribution

    4 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Characterization of a quartz MEMS tilt sensor with 0.001° precision」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science