Characterization of hafnium and zirconium silicate films fabricated by plasma-enhanced chemical vapor deposition

H. Kato, T. Nango, T. Miyagawa, T. Katagiri, Y. Ohki

研究成果: Conference contribution

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Characterization of hafnium and zirconium silicate films fabricated by plasma-enhanced chemical vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds