CHARACTERIZATION OF PLASMA-DEPOSITED SILICON NITRIDE FILMS.

S. Yokoyama, N. Kajihara, M. Hirose, Y. Osaka, T. Yoshihara, H. Abe

研究成果: Article査読

42 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「CHARACTERIZATION OF PLASMA-DEPOSITED SILICON NITRIDE FILMS.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy