CHARACTERIZATION OF PLASMA-DEPOSITED SILICON NITRIDE FILMS.

S. Yokoyama*, N. Kajihara, M. Hirose, Y. Osaka, T. Yoshihara, H. Abe

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フィンガープリント

「CHARACTERIZATION OF PLASMA-DEPOSITED SILICON NITRIDE FILMS.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy