Compact slanted comb two-axis micro-mirror scanner fabricated by silicon-on-insulator micromachining

Hoang Manh Chu*, Jun Mizuno, Kazuhiro Hane, Toshiyuki Takagi

*この研究の対応する著者

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フィンガープリント

「Compact slanted comb two-axis micro-mirror scanner fabricated by silicon-on-insulator micromachining」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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