Compensation of Surface Roughness Using an Au Intermediate Layer in a Cu Direct Bonding Process

Hirokazu Noma, Takumi Kamibayashi, Hiroyuki Kuwae, Naoya Suzuki, Toshihisa Nonaka, Shuichi Shoji, Jun Mizuno

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Compensation of Surface Roughness Using an Au Intermediate Layer in a Cu Direct Bonding Process」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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