Concentration of neutral oxygen vacancies in buried oxide formed by implantation of oxygen

Kwang Soo Seol*, Tsuyoshi Futami, Yoshimichi Ohki

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抄録

Using synchrotron radiation as a photon source, photoluminescence spectra were obtained for buried oxide formed by implantation of oxygen. From the spectra, the oxide was known to have relaxed and unrelaxed neutral oxygen vacancies with respective concentrations of 1.4×1020 and 1.0×1017 cm-3.

本文言語English
ページ(範囲)2357-2359
ページ数3
ジャーナルJournal of Applied Physics
83
4
DOI
出版ステータスPublished - 1998 2月 15

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  • 物理学および天文学(全般)

フィンガープリント

「Concentration of neutral oxygen vacancies in buried oxide formed by implantation of oxygen」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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