Control of radical species in microwave plasma chemical vapor deposition

I. Kato, T. Yoneda, T. Matsushita, M. Yamashita

研究成果: Article

フィンガープリント 「Control of radical species in microwave plasma chemical vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy