Crystallization of SiSn and SiSnC layers in Si by solid phase epitaxy and ion-beam-induced epitaxy

Naoto Kobayashi, D. H. Zhu, H. Katsumata, H. Kakemoto, M. Hasegawa, N. Hayashi, H. Shibata, Y. Makita, S. Uekusa, T. Tsukamoto

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Crystallization of SiSn and SiSnC layers in Si by solid phase epitaxy and ion-beam-induced epitaxy」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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