Cu-Cu direct bonding by introducing Au intermediate layer

Hirokazu Noma, Takumi Kamibayashi, Hiroyuki Kuwae, Naoya Suzuki, Toshihisa Nonaka, Shuichi Shoji, Jun Mizuno

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Cu-Cu direct bonding by introducing Au intermediate layer」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds