Defect formation observed by AES in a‐SiO2 films prepared by photochemical vapour deposition

H. Nonaka, S. Ichimura, K. Arai, C. Le Gressus

研究成果: Article査読

16 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Defect formation observed by AES in a‐SiO<sub>2</sub> films prepared by photochemical vapour deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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