Defect formation observed by AES in a‐SiO2 films prepared by photochemical vapour deposition

H. Nonaka, S. Ichimura, K. Arai*, C. Le Gressus

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フィンガープリント

「Defect formation observed by AES in a‐SiO2 films prepared by photochemical vapour deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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