Deposition mechanism of trace metals on silicon wafer surfaces in ultra pure water

Takayuki Homma*, Jun Tsukano, Tetsuya Osaka, Masaharu Watanabe, Kiyoshi Nagai

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フィンガープリント

「Deposition mechanism of trace metals on silicon wafer surfaces in ultra pure water」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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