Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering

Kazuki Arakawa*, Takahiko Yanagitani, Kazuhiko Kano, Akihiko Teshigahara, Morito Akiyama

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

21 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy