Detection and characterization of trace element contamination on silicon wafers

Andy Singh, Katharina Baur, Sean Brennan, Takayuki Homma, Nobuhiro Kubo, Piero Pianetta

研究成果: Conference contribution

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Detection and characterization of trace element contamination on silicon wafers」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy