本文言語 | English |
---|---|
ページ(範囲) | 267-279 |
ページ数 | 13 |
ジャーナル | Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan |
巻 | 27 |
号 | 4 |
DOI | |
出版ステータス | Published - 1984 |
外部発表 | はい |
ASJC Scopus subject areas
- 凝縮系物理学
- 表面、皮膜および薄膜
- 電子工学および電気工学
Shingo Ichimura, Hazime Shimizu, Masahiro Hirata
研究成果: Article › 査読
本文言語 | English |
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ページ(範囲) | 267-279 |
ページ数 | 13 |
ジャーナル | Shinku/Journal of the Vacuum Society of Japan |
巻 | 27 |
号 | 4 |
DOI | |
出版ステータス | Published - 1984 |
外部発表 | はい |