Development of highly integrated quartz micro-electro-mechanical system tilt sensor

Jinxing Liang*, Fusao Kohsaka, Takahiro Matsuo, Xuefeng Li, Ken Kunitomo, Toshitsugu Ueda

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    フィンガープリント

    「Development of highly integrated quartz micro-electro-mechanical system tilt sensor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy