Diamond deposition on a large-area substrate by plasma-assisted chemical vapor deposition using an antenna-type coaxial microwave plasma generator

Norikazu Taniyama*, Minoru Kudo, Osamu Matsumoto, Hiroshi Kawarada

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フィンガープリント

「Diamond deposition on a large-area substrate by plasma-assisted chemical vapor deposition using an antenna-type coaxial microwave plasma generator」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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