Dopant profile engineering of CMOS devices formed by non-melt laser spike annealing

Akio Shima, Yun Wang, Deepak Upadhyaya, Lucia Feng, Somit Talwar, Atsushi Hiraiwa

研究成果: Conference contribution

21 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Dopant profile engineering of CMOS devices formed by non-melt laser spike annealing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science