DOUBLE STACKED CAPACITOR WITH SELF-ALIGNED POLY SOURCE/DRAIN TRANSISTOR (DSP) CELL FOR MEGABIT DRAM.

K. Tsukamoto*, M. Shimizu, M. Inuishi, Y. Matsuda, H. Oda, H. Morita, M. Nakajima, K. Kobayashi, Y. Mashiko, Y. Akasaka

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference article査読

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フィンガープリント

「DOUBLE STACKED CAPACITOR WITH SELF-ALIGNED POLY SOURCE/DRAIN TRANSISTOR (DSP) CELL FOR MEGABIT DRAM.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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