Effect of atomic layer deposition temperature on current conduction in Al2O3 films formed using H2O oxidant

Atsushi Hiraiwa, Daisuke Matsumura, Hiroshi Kawarada

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Effect of atomic layer deposition temperature on current conduction in Al2O3 films formed using H2O oxidant」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy