Effect of deuterium anneal on sio2/si(L00) interface traps and electron spin resonance signals of ultrathin si02 films

Hisashi Fukuda, Tomo Ueno, Hiroshi Kawarada, Iwao Ohdomari

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effect of deuterium anneal on sio2/si(L00) interface traps and electron spin resonance signals of ultrathin si02 films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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