Effect of introduced fluorine on electrical breakdown characteristics of plasma polymer films

Toshiki Nakano, Masao Fukuyama, Yoshimichi Ohki

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)343-350
ページ数8
ジャーナルIEEJ Transactions on Fundamentals and Materials
109
8
DOI
出版ステータスPublished - 1989

ASJC Scopus subject areas

  • 電子工学および電気工学

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