Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target

Shinji Takayanagi*, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds

Physics & Astronomy